◆采用进口磁力泵定量三乙胺,定量精度高；
◆配有防爆加热器，确保三乙胺的良好气化和载流气体的加热；
◆通过人机界面，对吹气过程的压力、时间等工艺参数进行设定，并可同时储存不同芯盒的工艺参数。